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[单选题]
根据氧化剂的不同，热氧化可分为（)。
A.干氧氧化
B.水汽氧化
C.湿氧氧化
D.掺氯氧化
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B.水汽氧化速率＞干氧氧化速率＞湿氧氧化速率
C.干氧氧化速率＞水汽氧化速率＞湿氧氧化速率
D.水汽氧化速率＞湿氧氧化速率＞干氧氧化速率
第4题
二氧化硅热氧化有多种方式，下面关于氧化方式对生长速率影响的说法正确的是（)。
A.湿氧氧化速率＞水汽氧化速率＞干氧氧化速率
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C.干氧氧化速率＞水汽氧化速率＞湿氧氧化速率
D.水汽氧化速率＞湿氧氧化速率＞干氧氧化速率
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