第1题
第2题
A.等离子增强化学气相沉积
B.热丝化学气相沉积制备多晶硅
C.低压化学气相沉积制备多晶硅
D.非晶硅晶化制备多晶硅薄膜
第3题
第4题
第5题
第6题
第7题
A.晶圆顶层的保护层
B.多层金属的介质层
C.多晶硅与金属之间的绝缘层
D.掺杂阻挡层
E.晶圆片上器件之间的隔离
第8题
第9题
第10题
A.化学气相沉积法
B.物理气相沉积法
C.盐浴浸镀法
D.等离子喷涂
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