扩散使用的液态源是三氯氧磷（）

A.磷钙玻璃

B. 三氯氧磷

C. 三氯化磷

D. 磷烷

E. 掺磷二氧化硅乳胶源

A.氢氟酸

B.盐酸

C.三氯氧磷

D.硝酸

A.三氯氧磷

B.硅烷

C.氨气

D.不需要

A.氢氟酸

B.盐酸

C.三氯氧磷

D.以上均是

A.喷涂磷酸水溶液后链式扩散

B.三氯氧磷液态源扩散

C.丝网印刷磷浆料后链式扩散