题目内容
（请给出正确答案）
[单选题]
扩散使用的掺杂元素是下列哪种物质提供（）
A.三氯氧磷
B.硅烷
C.氨气
D.不需要
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A.绷
B.磷
C.镓
D.砷
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第3题
掺杂浓度分布如下图，请判断对错： [图]A、（a)、（b)是扩散...
掺杂浓度分布如下图，请判断对错：
A、(a)、(b)是扩散掺杂，杂质浓度都是余误差分布；
B、(c)是离子注入掺杂，是高斯分布；
C、(a)是限定源扩散掺杂，是余误差分布；(b)是恒定源扩散，是高斯分布；
D、(a)是限定源扩散掺杂，是高斯分布；(b)是恒定源扩散，是余误差分布；
E、(a)、(c) 杂质浓度都是高斯分布；
F、(b)、(c) 杂质浓度都是高斯分布,都是离子注入掺杂。
第6题
掺杂浓度分布如下图，请判断对错： [图]A、（a)、（b)是扩...
掺杂浓度分布如下图，请判断对错：
A、(a)、(b)是扩散掺杂，杂质浓度都是余误差分布；
B、(c)是离子注入掺杂，是高斯分布；
C、(a)是限定源扩散掺杂，是余误差分布；(b)是恒定源扩散，是高斯分布；
D、(a)是限定源扩散掺杂，是高斯分布；(b)是恒定源扩散，是余误差分布；
E、(a)、(c) 杂质浓度都是高斯分布；
F、(b)、(c) 杂质浓度都是高斯分布,都是离子注入掺杂。
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