题目内容
(请给出正确答案)
[单选题]
在曝光之前需要将掩膜版上的对准记号与硅片上的对准几号对准,该工序称为
A.对准
B.套刻
C.光刻
D.刻蚀
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A.对准
B.套刻
C.光刻
D.刻蚀
第5题
第6题
第10题
,在台阶处共看到5条明条纹.已知氧化硅的折射率为n2=1.5,硅的折射率为n3=3.42.求膜的厚度.
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