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[单选题]

直拉法生长单晶硅拉晶过程有几个主要阶段?()

A.3

B.5

C.4

D.2

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第1题

多晶硅的生产方法主要包含:()1、SiCl4法2、硅烷法3、流化床法4、西门子改良法5、冶金法6、气液沉淀法7、重掺硅废料提纯法

A.1234

B.123

C.1456

D.4567

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第2题

如何从石英砂制取硅?说明从石英到单晶硅的工艺的简要框图正确的是()

A.加料—→熔化—→缩颈生长—→放肩生长—→等径生长—→尾部生长

B.加料—→熔化—→缩颈生长—→放肩生长—→尾部生长—→等径生长

C.加料—→缩颈生长—→熔化—→放肩生长—→尾部生长—→等径生长

D.加料—→放肩生长—→缩颈生长—→熔化—→尾部生长—→等径生长

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第3题

关于晶体下列说法错误的是()

A.调整晶体生长的热系统,使热场的径向温度梯度增大

B.调节拉晶的运行参数,例如对于凸向熔体的界面加快拉速,增加其凝固速度增加利用结晶潜热使界面趋于平坦

C.调整晶体或者坩埚的转速,调整高温液流的增减

D.增大坩埚内径与晶体直径的比值

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第4题

硅片制备主要工艺流程是()

A.单晶生长→整形→切片→晶片研磨及磨边→蚀刻→抛光→硅片检测→打包

B.单晶生长→切片→整形→晶片研磨及磨边→蚀刻→抛光→硅片检测→打包

C.单晶生长→整形→切片→蚀刻→晶片研磨及磨边→抛光→硅片检测→打包

D.单晶生长→整形→切片→晶片研磨及磨边→抛光→蚀刻→硅片检测→打包

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