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[多选题]

单晶硅锭的两种常见生产工艺有()。

A.浇铸法

B.直拉法

C.直熔法

D.区熔法

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第1题

常用的酸性腐蚀液配方中硝酸与氢氟酸与醋酸之比为()。

A、6:3:3

B、5:3:3

C、5:1:1

D、6:1:1

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第2题

离子注入法具有的特点主要有()。

A、精确的剂量控制

B、均匀性好

C、掺杂深度小

D、不受固溶度限制

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第3题

硅材料的选料主要包括()。

A、导电类型

B、电阻率

C、晶向、位错、寿命

D、形状、尺寸、厚度

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第4题

多晶硅绒面制备时采用的酸腐蚀液主要由()组成。

A、HN03

B、HF

C、H20

D、CH3CH2OH

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