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[多选题]

常用的酸性腐蚀液配方中硝酸与氢氟酸与醋酸之比为()。

A.6:3:3

B.5:3:3

C.5:1:1

D.6:1:1

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第1题

离子注入法具有的特点主要有()。

A、精确的剂量控制

B、均匀性好

C、掺杂深度小

D、不受固溶度限制

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第2题

硅材料的选料主要包括()。

A、导电类型

B、电阻率

C、晶向、位错、寿命

D、形状、尺寸、厚度

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第3题

多晶硅绒面制备时采用的酸腐蚀液主要由()组成。

A、HN03

B、HF

C、H20

D、CH3CH2OH

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第4题

固态氮化硼扩散与液态硼扩散比较,其有如下的特点()。

A、设备复杂、操作麻烦

B、扩散效率高,更适于大批量生产

C、扩散后硅片的均匀性、重复性和表面质量都较好

D、产品的合格率较高

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