题目内容
(请给出正确答案)
[多选题]
固态氮化硼扩散与液态硼扩散比较,其有如下的特点()。
A.设备复杂、操作麻烦
B.扩散效率高,更适于大批量生产
C.扩散后硅片的均匀性、重复性和表面质量都较好
D.产品的合格率较高
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A.设备复杂、操作麻烦
B.扩散效率高,更适于大批量生产
C.扩散后硅片的均匀性、重复性和表面质量都较好
D.产品的合格率较高
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