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[主观题]
什么是等离子体？以及等离子体的分类（按电离程度）？
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第4题
产生等离子体的电力条件是()，无线电频率可从射频到VHF、微波范围内多种多样的频率，但目前射频等离子体CVD最普及。
产生等离子体的电力条件是（)，无线电频率可从射频到VHF、微波范围内多种多样的频率，但目前射频等离子体CVD最普及。
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