A.石墨舟水太多
B.热排堵塞
C.石墨舟未清洗干净
第1题
第2题
A.石墨舟受潮
B.刻蚀来料带液
C.环境湿度高
D.硅片自身缺陷
第3题
A.系统图框
B.工艺编辑
C.系统扩展
D.舟信息编辑
第4题
A.石英舟
B.石墨舟
C.特氟龙镊子
D.竿槽花篮
第5题
第6题
A.损坏就更换
B.到更换周期后再更换
C.洗舟就更换
D.永远不更换
第7题
A.DA
B.NH3
C.N2
D.SIH4
第8题
A.10mm
B.11mm
C.8mm
D.12mm
第9题
A.外延炉
B.石英反应管
C.石墨生长舟
D.氢气发生器
第10题
第11题
A.NaOH
B.HF
C.HNO3
D.IPA
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