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[单选题]

石墨舟的烘箱在温度达到的情况下烘不干的原因为()

A.石墨舟水太多

B.热排堵塞

C.石墨舟未清洗干净

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第1题

在机器人对石墨舟点位前不需要在校准器上校准石墨舟后对点,差不多就行()
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第2题

镀膜车间造成EL石墨舟印的因素有()

A.石墨舟受潮

B.刻蚀来料带液

C.环境湿度高

D.硅片自身缺陷

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第3题

管P石墨舟使用次数是在()设置

A.系统图框

B.工艺编辑

C.系统扩展

D.舟信息编辑

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第4题

以下哪些()是扩散工序用到的工装夹具

A.石英舟

B.石墨舟

C.特氟龙镊子

D.竿槽花篮

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第5题

石墨舟使用次数达到规范值时通知工艺进行清线()
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第6题

石墨舟舟叶更换条件是()

A.损坏就更换

B.到更换周期后再更换

C.洗舟就更换

D.永远不更换

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第7题

石墨舟清洗机鼓泡用的()气体

A.DA

B.NH3

C.N2

D.SIH4

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第8题

石墨舟中两电极片的间距是()

A.10mm

B.11mm

C.8mm

D.12mm

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第9题

典型的LPE生长系统主要包含带温控的外延炉、石英反应管、石墨生长舟、氢气发生器以及真空机组等几部分组成。其中()是其核心部分。

A.外延炉

B.石英反应管

C.石墨生长舟

D.氢气发生器

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第10题

维护和测量需将石墨舟至常温下放置()
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第11题

石墨舟的清洗是用()溶液浸泡,然后在80摄氏度下烘干8小时

A.NaOH

B.HF

C.HNO3

D.IPA

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