X射线荧光光谱分析是一种对元素进行定性定量分析的分析方法。它采用高能辐射来使试样激发而产生荧光X射线，将产生的特征X射线光谱经梭拉光栏准直后，导于分光系统进行波长分析或能量分析（即定性分析）和以计数管进行其强度测量，按事先确定出的X射线强度与含量之关系式而求出分析元素的含量（即定量分析）。