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[单选题]
扫描电镜真空系统的前级泵为()
A.机械泵
B.油扩散泵
C.涡轮分子泵
D.离子泵
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第2题
A. 液环泵、乙二醇喷射泵第1、2、3级
B. 液环泵、乙二醇喷射泵第3、2、1级
C. 乙二醇喷射泵第3、2、1级、液环泵
D. 乙二醇喷射泵第1、2、3级、液环泵
第3题
A. 液环泵、乙二醇喷射泵第1、2、3级
B. 液环泵、乙二醇喷射泵第3、2、1级
C. 乙二醇喷射泵第3、2、1级、液环泵
D. 乙二醇喷射泵第1、2、3级、液环泵
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