1、切断吸附塔进口阀V1、V2，开吸附塔排气阀V3、V4。排空气体后关闭阀门V1、V2、V3、V4，关闭吸附塔总阀。2、关闭流量计出口阀。3、先停空压机，冷冻机开15分钟后停。4、关闭控氧仪氮气分析仪电源开关和进控氧仪氮气分析仪的流量开关。5、把程控器的选择开关由自动转至手动。6、停空压机、冷冻干燥机。7、排空所有容器，关闭所有阀门。8、关闭冷却水进口阀。9、切断电源总开关。