题目内容
(请给出正确答案)
[多选题]
半导体生产中常用的薄膜有()。
A.绝缘介质膜
B.半导体薄膜
C.陶瓷薄膜
D.金属薄膜
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第1题
B、带隙大小适中、硅表面上很容易制备高质量的介电层SiO2
C、易于通过沉积工艺制备出单晶硅、多晶硅和非晶硅薄膜材料
D、易于进行n型和p型掺杂
第9题
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