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第1题
超声波加工时,指数形变幅杆可具有较大的振幅扩大倍数。()
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第2题
离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。()
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第3题
由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射,产生不稳定现象,所以在加工过程中,需要利用真空吸力,不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。()
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第4题
只有在较高的真空条件中,电子和离子才能高速运动。()
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第5题
离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。()
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第6题
离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。()
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第7题
离子的质量远大于电子,故离子束加工的生产率比电子束高,但表面粗糙度稍差。()
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第8题
离子束加工和电子束加工类似,主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。()
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第9题
在切削加工中,引入超声振动可以降低切削力,改善表面粗糙度。()
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第10题
超声冲击磨蚀工具头主要靠端面工作,那么其侧面就不会产生磨损。()
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