常用溅射技术有哪几种，简述它们的工作原理和特点。

生的原因。如果温度上升速度加快后，滑移现象变得更为严重，这说明晶圆片表面上的辐射分布是怎样的?

气量的增加，对Si和SiO2刻蚀选择性怎样变化?为什么?

假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散，从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。