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[单选题]

微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种()A.离子束刻蚀、激光刻蚀B.干法刻蚀、湿法刻蚀C.溅射

A.离子束刻蚀、激光刻蚀

B.干法刻蚀、湿法刻蚀

C.溅射加工、直写加工

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